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POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) NPP 高級版

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POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) NPP 高級版

POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī),由NPP 制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。

可以同時實(shí)現(xiàn)臺式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手動或自動(可選)化學(xué)藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。


POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) NPP 高級版

腔室規(guī)格:

- 最大支持6英寸(150毫米)晶圓

- 最大支持4英寸×4英寸(100毫米)基板

- 材質(zhì): 天然聚丙烯(NPP) 


硬件規(guī)格:

- 液體過濾器

- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計,可在現(xiàn)場輕松切換臺式和嵌入式型號.

- 配備中心注射架,用于安裝注射器或分配噴嘴

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

-大型(可拆卸)觸摸顯示屏

- USB 端口,用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進(jìn)行軟件更新

- 8 I/O 端口

-能夠定義電機(jī)歸零位置,便于在機(jī)器人控制/自動化環(huán)境中進(jìn)行集成

-通過集成步進(jìn)電機(jī)實(shí)現(xiàn)自動開蓋和關(guān)蓋.


驅(qū)動單元規(guī)格:  

- 采用間接無刷驅(qū)動單元

- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM(取決于基板/卡盤)

- 具有高加速度和高精度

- 加/減速范圍為1-30,000 RPM 

- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項(xiàng)


隨附旋涂儀卡盤和適配器: 

-隨附1 x A-V36-S45-PP-HD, 真空卡盤 

-隨附1 x D-V10-S50-PP-HD, 碎片適配器

-FCA SPS-Europe, The Netherlands









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